테트라에틸 오르토실리케이트-E 등급

분자 무게

208.33

CAS 번호.

78-10-4.

물리적 특성

무색 투명한 액체

융점 : -77 ℃,

끓는점 : 169 ℃,

밀도 : 0.93g / ml.

물에서 안정적으로; 물에 약간 가용성과 순수한 물에 가수 분해, 산과 염기에서 더 빨리 가수 분해됩니다.

응용 프로그램

웨이퍼 제조 중에 주로 화학 기상 증착 (CVD) 공정에서 주로 사용되며 O2 / O3 / N2O와 반응하여 실리콘 이산화 필름을 형성합니다. 반도체, 이산 장치 및 마이크로 전자 기계 시스템 (MEMS)의 제조에 필요한 중요한 전자 화학 물질입니다.

청정( ) Min.

99.999999˚ (8N)

锰 (mn) 최대

0.1 ppb.

铝 (al) 최대

0.2ppb.

钼 (Mo) Max.

0.1 ppb.

银 (Ag) 최대

0.1 ppb.

钠 (na) 최대

0.5 ppb.

砷 (AS) 최대

0.4 ppb.

铌 (nb) 최대

0.1 ppb.

金 (au) 최대

0.1 ppb.

镍 (ni) 최대

0.2 ppb.

硼 (b) 최대

0.5 ppb.

铅 (PB) 최대

0.1 ppb.

钡 (BA) 최대

0.1 ppb.

锑 (SB) 최대

0.1 ppb.

铍 (be) 최대

0.1 ppb.

锡 (Sn) 최대

0.2 ppb.

铋 (BI) 최대

0.1 ppb.

锶 (SR) 최대

0.1 ppb.

钙 (CA) 최대

0.5 ppb.

钍 (th) 최대

0.1 ppb.

镉 (CD) 최대

0.1 ppb.

钨 (W) 최대

0.1 ppb.

钛 (Ti) 최대

0.1 ppb.

锌 (Zn) 최대

0.2 ppb.

铀 (u) 최대

0.1 ppb.

Cl- 최대

0.5ppm.

钒 (v) 최대

0.1 ppb.

물 최대

5ppm.

钴 (공동) 최대

0.4 ppb.

에탄올 최대

3ppm.

铜 (CU) 최대

0.2 ppb.

입자 ≥0.1μm 최대

50p / ml.

铬 (CR) 최대

0.2 ppb.

입자 ≥0.2μm 최대

30p / ml.

铁 (Fe) 최대

0.2 ppb.

입자 ≥0.3μm 최대

20p / ml.

锆 (ZR) 최대

0.1 ppb.

입자 ≥0.5μm 최대

10p / ml.

镓 (GA) 최대

0.4 ppb.

입자 ≥1.0μm 최대

3P / ML.

汞 (hg) 최대

0.3 ppb.

Chromacity Max.

10apha

钾 (k) 최대

0.2 ppb.

메인 콘텐츠( ) Min.

99.99.

锂 (LI) 최대

0.1 ppb.

모습

무색 투명한 액체

镁 (mg) 최대

0.5 ppb.

유통 기한

24 개월